v 功能特點(diǎn)
ü 樣品尺寸4~6寸,溫度900℃-1100℃（2寸以下）
ü 本底真空1E-10Torr，配置低溫泵和分子泵
ü 10個(gè)束源爐，容量40cc，可以配置等離子增強(qiáng)型束源爐及電子回旋共振束源爐
ü 配備晶振、束流監(jiān)控器、高能電子槍以及監(jiān)控軟件
ü PBN加熱器
ü 4軸加熱樣品臺(tái)，可旋轉(zhuǎn)、XYZ方向均可移動(dòng)
ü 手動(dòng)或自動(dòng)LoadLock上下片系統(tǒng)
v 生長(zhǎng)材料
二維材料以及拓?fù)洳牧?、氧化物等，?/span>III-V 族,II-VI 族,Si/SiGe ,金屬與金屬氧化物及GaN,AlN, AlGaN, InGaN, AlGaInN,CIGS，OLED 等
